Компания ЭСТО (Москва), производитель оборудования для микроэлектроники, запустила первое в России серийное производство электростатических столов.
Это оборудование предназначено для бесконтактного удержания кремниевых пластин в вакуумных установках при изготовлении микросхем, чипов и процессоров, что позволяет избежать механических повреждений и загрязнений.
Ранее помимо стендовых испытаний разработка была испытана в вакуумной установке для плазменной обработки полупроводниковых пластин у заказчика, показав высокий результат стабильности удержания пластины — 0,57%.
Проект осуществлен при финансовой помощи Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства (она предусматривает компенсацию процентной ставки в размере 50% от ключевой ставки Банка России). Объем инвестиций не раскрывается.