Компания «Оптические технологии» (Новосибирск), специализирующаяся на исследованиях и разработках в области естественных наук, создала первую в России лазерную систему на длине волны 257 нм для печати шаблонов с помощью ультрафиолетового излучения при изготовлении микросхем.
Программно-аппаратный комплекс включает в себя лазер, который задает основную энергию в 10–30 милливатт, и волоконный усилитель, увеличивающий мощность лазера до 15 ватт. По своим параметрам система соответствует американскому лазеру Coherent, на поставках которого до сих пор жил российский рынок. При этом, по данным разработчика, российская система отличается низким энергопотреблением, сравнимым с мощностью бытового электрочайника. Предсерийный прототип лазерной системы проходит испытания на площадке ОАО «Планар» в Белоруссии. Напомним, что «Планар» — разработчик российско-белорусского литографа на 350 нм, который в марте этого года был сдан в серийное производство.
– новый журнал для тех, кто развивает Россию.