Электроника Новые технологии

Полупроводники: у облученного кремния увеличился диаметр

12 сентября 2022, 00:00

В Томском политехническом университете (ТПУ) запущен в промышленную эксплуатацию комплекс для ядерного легирования кремния предельно большого диаметра — более 200 мм. Это первое производство в России, а в мире таких всего несколько. Ранее максимальный диаметр, с которым работали в ТПУ, был 128 мм. Ядерное легирование — процесс, при котором в цилиндрические слитки суперчистого монокристаллического кремния в результате облучения вводятся атомы фосфора, что существенно улучшает свойства кремния как полупроводника. Кремний большого диаметра позволит создавать более мощную электронику, в том числе для «зеленой» энергетики, и более низкой себестоимости. Мощность нового комплекса — до четырех тонн облученного кремния в год, общая стоимость — свыше 50 млн рублей: это средства федерального бюджета, а также собственные средства ТПУ.