Купить
Это оборудование предназначено для бесконтактного удержания кремниевых пластин в вакуумных установках при изготовлении микросхем, чипов и процессоров, что позволяет избежать механических повреждений и загрязнений.
Ранее помимо стендовых испытаний разработка была испытана в вакуумной установке для плазменной обработки полупроводниковых пластин у заказчика, показав высокий результат стабильности удержания пластины — 0,57%.
Проект осуществлен при финансовой помощи Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства (она предусматривает компенсацию процентной ставки в размере 50% от ключевой ставки Банка России). Объем инвестиций не раскрывается.
Подписаться за 500 ₽
Все материалы номера за 180 ₽
400
На информационном ресурсе применяются рекомендательные технологии
– журнал для тех, кто знает, но хочет понимать
Пожар на рынке трежерис: крах «двухпедальной» системы
Свежая генеральская кровь
Логика инфраструктурной войны
Бумеранг украинской эскалации
«У России есть очевидное эскалационное преимущество»
Резервный генератор будет «думать» по-русски
Стены не греют
Разжать пружину автомобильного спроса
Каспийские перевозки бумируют
Мы — здесь
Гонка ИИ: русский контур
Космос. Вторая четверть XXI века