Купить
К разработке литографа (степпера) — установки для печати чипов на кремниевых пластинах — Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) приступил в 2022 году совместно с белорусской компанией «Планар», которая производит такие машины серийно. «Сейчас на это оборудование уже есть два коммерческих контракта. Поставка намечена на декабрь этого года», — рассказал руководитель производства изделий РЭА и сопровождения ЗНТЦ Дмитрий Калбазов на выставке ExpoElectronica-2026.
По его словам, разработанный компанией литограф на 350 нм по своим характеристикам не уступает зарубежным аналогам. «Основной конкурент на нашем рынке — Nikon NSR-2205i11D, но мы предлагаем постепенно переходить на отечественное оборудование», — заявил представитель ЗНТЦ. Весь цикл изготовления степпера — от разработки до пусконаладки — занимает примерно 18 месяцев.
Далее ЗНТЦ планирует переходить к более детальной топологии — степперу на 130 нм. Такая установка требует существенно более высокого разрешения, позволяющего разместить больше транзисторов на той же площади кристалла. Опытно-конструкторские работы по степперу на 130 нм, по оценке Дмитрия Калбазова, завершатся через полгода, в ноябре.
В новом приборе используется эксимерный фтористо-криптоновый лазер (KrF), сконструированный компанией «Лассард», резидентом ОЭЗ «Технополис». Благодаря длине волны 248 нм он относится к лазерам глубокого ультрафиолетового диапазона и используется в производстве полупроводниковых интегральных схем, промышленной микромеханике и научных исследованиях. По ключевым параметрам, таким как длина волны, мощность, частотные характеристики, он является прямым аналогом американского Cymer ELS 7600. По словам Дмитрия Калбазова, сейчас 248-нм лазер «ожидает приемо-сдаточных испытаний».
– журнал для тех, кто знает, но хочет понимать
Очень высокая цена «тихих» реформ
Рубильник для Рунета лучше пока не включать
Суверенный интернет пока только мечта
За суверенный электрод
Как закаляется отечественный подшипник
Переоткрытие чернобыльской драмы
США на руинах былого величия
Бухгалтерия суверенитета
Суицидальный путь Израиля