По его словам, разработанный компанией литограф на 350 нм по своим характеристикам не уступает зарубежным аналогам. «Основной конкурент на нашем рынке — Nikon NSR-2205i11D, но мы предлагаем постепенно переходить на отечественное оборудование», — заявил представитель ЗНТЦ. Весь цикл изготовления степпера — от разработки до пусконаладки — занимает примерно 18 месяцев.

Далее ЗНТЦ планирует переходить к более детальной топологии — степперу на 130 нм. Такая установка требует существенно более высокого разрешения, позволяющего разместить больше транзисторов на той же площади кристалла. Опытно-конструкторские работы по степперу на 130 нм, по оценке Дмитрия Калбазова, завершатся через полгода, в ноябре.

В новом приборе используется эксимерный фтористо-криптоновый лазер (KrF), сконструированный компанией «Лассард», резидентом ОЭЗ «Технополис». Благодаря длине волны 248 нм он относится к лазерам глубокого ультрафиолетового диапазона и используется в производстве полупроводниковых интегральных схем, промышленной микромеханике и научных исследованиях. По ключевым параметрам, таким как длина волны, мощность, частотные характеристики, он является прямым аналогом американского Cymer ELS 7600. По словам Дмитрия Калбазова, сейчас 248-нм лазер «ожидает приемо-сдаточных испытаний».

В планах ЗНТЦ также 90-нанометровый сканер с зеркальным объективом и эксимерный лазер на 193 нм. Кроме того, здесь разрабатываются установка контроля переносимых дефектов пластины без топологии, система формирования знаков совмещения на обратной стороне пластины, электронно-лучевой литограф и кластерная линия литографии.

Тендер Минпромторга на создание отечественной установки для печати микросхем на кремниевых пластинах в соответствии с технологическими процессами 130–65 нм зеленоградское предприятие выиграло в конце 2021 года, стоимость контракта составила 5,7 млрд рублей.

От кристаллов до пассивной электроники

Комплексную программу развития электронного машиностроения Минпромторг запустил еще в 2020 году. Поначалу она распространялась лишь на оборудование и материалы для кристального цикла — процесса изготовления интегральных микросхем, в рамках которого выполняется ряд операций с монокристаллической пластиной-подложкой.

«Сейчас программа Минпромторга включает как средства, так и ресурсы для производства электроники: химические вещества, специальные материалы, измерительные приборы, оборудование для корпусирования микросхем, пассивной электроники, печатных плат и СВЧ-керамики. Всего в программе 800 мероприятий», — рассказала на ExpoElectronica-2026 заместитель директора департамента станкостроения Фатима Дзодзикова.

Уже упомянутая «Лассард» — компания совладельца группы «Вартон» и «Байкал Электроникс» Дениса Фролова — также в 2021 году заключила контракт с министерством на 1,2 млрд рублей на запуск в РФ производства по выращиванию кристаллов для радиоэлектронной аппаратуры. Сейчас на разработанную «Лассардом» многотигельную установку выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия, предназначенных для изготовления лазерных диодов, фотоприемников и СВЧ-электроники, уже есть спрос и за пределами России.

«Буквально в январе мы с заместителем министра Василием Шпаком были в Китае на переговорах», — отметила Фатима Дзодзикова. В КНР, по ее словам, также интересовались установкой МОС-гидридной эпитаксии соединений на основе нитрида галлия, разработанной флагманом отрасли, компанией «Научное и технологическое оборудование» (НТО). Новая установка предназначена для серийного выпуска гетероструктур для СВЧ-электроники, фотоники, микросхем и других полупроводниковых приборов. Контракт на разработку стоимостью 574,3 млн рублей НТО получило от Минпромторга также в 2021 году.

«Нынешний год станет самым урожайным по числу проектов: испытания должны пройти 29 типов оборудования. Это и новые установки молекулярно-лучевой эпитаксии для различных соединений, и плазмохимическое травление и осаждение для структур нитрида и арсенида галлия, и новый степпер на 130 нанометров (с российским эксимерным лазером), и установки резки и шлифовки пластин», — перечислила замдиректора департамента станкостроения.

Но если раньше основной акцент делался на финансирование ОКР, то теперь государству в лице Минпромторга стоит задуматься о мерах поддержки серийного производства разработанного оборудования, полагает Фатима Дзодзикова.

Ключевой проблемой является масштаб рынка: некоторые установки требуются в единичных экземплярах, что делает их серийное производство невозможным без помощи государства. Проблему ограниченного спроса министерство намерено решить с помощью механизма «НИОКР заказчика»: потребитель будет получать субсидию и самостоятельно заказывать необходимое оборудование у производителя, а потом и принимать работу. Поскольку российским предприятиям довольно сложно конкурировать с иностранными корпорациями, Минпромторг намерен предложить рынку «скидку потребителей» в размере 30% от стоимости техники. Для серийного производства наиболее приемлемыми механизмами станут промышленная ипотека и комплексная инвестиционная программа.

Спрос чиновники планируют стимулировать национальным режимом. С 1 сентября вступают в силу поправки к постановлению № 719 для оборудования кристального производства. «Каждые три года требования к локализации будут усугубляться, поэтому производители уже сейчас должны обратить внимание на российских поставщиков комплектующих. Следующим шагом станут запреты и ограничения на покупку импортной электроники. К концу текущего года мы должны добиться как минимум 50-процентной локализации оборудования», — уверена Фатима Дзодзикова.

Лакуны в импортозамещении

Однако сами производители говорят, что отрасль по-прежнему зависит от импортных компонентов. Так, компания НТО, которой в апреле исполняется 25 лет, является одним из лидеров в России по оборудованию для сложных полупроводников (нитрид галлия, арсенид галлия). В рамках программы электронного машиностроения НТО в прошлом году выполнила две опытно-конструкторские работы. Гендиректор НТО Алексей Алексеев признает, что за десять лет России удалось стать частично технологически независимой в инфраструктуре эпитаксиального оборудования. «Мы теперь сами можем выращивать слои кремния (200 миллиметров), нитрида галлия, карбида кремния и других сложных полупроводников на отечественных установках, что закрывает критическую потребность в материалах для силовой и СВЧ-электроники», — полагает он.

Но проблемой является импортозамещение комплектующих для самой техники. По оценке НТО, в 2026 году доля зарубежных компонентов продолжает держаться на уровне 67%. «К сожалению, сегодня мы вынуждены применять отечественные комплектующие не всегда высокого качества. И при этом пытаемся конкурировать с китайскими установками, на которых стоят турбины Edwards. В КНР доступна лучшая мировая база комплектующих. Лучшие средства откачки, лучшие средства измерения вакуума и многое другое из того, что нам сейчас недоступно. Это их безусловное конкурентное преимущество, — отметил глава НТО. — Между тем вложения в разработку современных термоэлектрических насосов сопоставимы с вложениями в разработку отдельных видов установок. Без господдержки будет сложно ожидать прорыва».

Поддержка отрасли включает как средства производства электроники, так и ресурсы: химические вещества. специальные материалы, измерительные приборы, оборудование для корпусирования микросхем, выпуска пассивной электроники, печатных плат и СВЧ керамики

Представитель Института метрологии им. Менделеева из зала добавил, что отечественных производителей вакуумметров в принципе нет: «Китайцы калибруют свои эталоны в Национальном институте метрологии США. То есть измерение вакуума в российском электронном машиностроении по факту зависит от Америки».

Несмотря на сложности с комплектующими, в области активной электроники и литографического оборудования заметен прогресс. Проблемным с точки зрения импортозамещения пока остается сегмент пассивной электроники (ПЭК). Заместитель начальника отдела Всероссийского научно-исследовательского института радиоэлектроники Андрей Ена уверен, что все упирается в отсутствие конденсаторов, необходимых для систем связи и геолокации. «На данный момент у нас нет малоразмерных высокоемких и СВЧ-конденсаторов, которые активно используются везде. Спрос — 72 миллиона изделий в год, но отечественного производства практически нет, потому что нет материалов», — констатировал он.

Не выпускаются в России и ферритовые фильтры, которые нужны для подавления высокочастотных электромагнитных помех в электрических цепях и обеспечения стабильной работы электронных устройств. Спрос на них держится на уровне 7,5 млн штук в год.

Наконец, многие предприятия зависят от импорта разъемов mini-fit. Карачевский завод и казанский «Элекон» выпускают хорошую номенклатуру, но для соединения печатных плат требуются миниатюрные разъемы типа SP — именно их сейчас и не хватает.

До сих пор отрасль развивалась за счет масштабной государственной поддержки — субсидий и финансирования ОКР. В 2020 году объем госпомощи составлял 10 млрд рублей, в 2024-м он взлетел до 210 млрд. Однако уже в 2025 году из бюджета было выделено 100 млрд, а на ближайшие три года (2026–2028) запланировано чуть более 250 млрд, то есть в среднем менее 85 млрд в год. Фактически финансирование отрасли не просто замедлилось, а сократилось — если смотреть в реальном выражении с учетом инфляции. И это на фоне колоссальной потребности в капиталовложениях и острого дефицита кадров.