Электроника Бум импортозамещения Росатом

«Росатом» запустил производство фосфора для чипов

Наталья Быкова
обозреватель «Монокль»
22 июня 2026, 06:00
№26

Импортозамещающее производство критически важных компонентов микроэлектроники — особо чистых красного фосфора и оксихлорида фосфора — открыто в Подольске.

ДЕФИЦИТ ВЫСОКОЧИСТЫХ ЭЛЕМЕНТОВ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ БУДЕТ ВОСПОЛНЕН
Читайте Monocle.ru в

Технология синтеза этих веществ с чистотой, отвечающей современным стандартам (99,9999%), в России опробована впервые. Ее разработчики ― ученые из НИИ НПО «Луч», профильного предприятия атомной отрасли «Гиредмет» (оба входят в научный дивизион «Росатома») и из двух университетов: РХТУ им. Д. И. Менделеева и Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского.

Оба соединения применяют в техпроцессах формирования полупроводниковых структур. В частности, красный фосфор используют в ионной имплантации как легирующую присадку, которая задает электрические свойства кремнию, а оксихлорид фосфора — в качестве легирующего агента в диффузионных процессах, а также как основу для синтеза нескольких других веществ, используемых в производстве солнечных панелей и оптического волокна.

Исходным сырьем для получения нужных соединений является технический красный фосфор. Его нагревают в инертной среде, за счет чего он переходит из одной аллотропной модификации в другую, или, проще говоря, становится белым фосфором. Далее его подвергают многоступенчатой дистилляционной либо ратификационной очистке и получают белый фосфор высокой чистоты. Его, в свою очередь, сублимируют и кристаллизуют с получением высокочистого красного фосфора требуемой марки или направляют на производство побочных продуктов: хлорида фосфора и оксихлорида фосфора. Техпроцесс полностью автоматизирован. По словам директора по научным государственным программам «Росатом Науки» Ивана Мазилина, риски, связанные с возможной пожаро- и взрывоопасностью, токсичностью и контактами сотрудников с фосфором, в созданной технологической цепочке минимальны.

Это производство должно восполнить дефицит высокочистых элементов в микроэлектронике, который образовался после 2022 года. С этого времени российские предприятия импортировали особо чистые фосфорсодержащие соединения из Китая, но такие контракты не считались стопроцентно надежными из-за постоянно нависающей угрозы вторичных санкций, а также из-за возможных неудобств, связанных с зависимостью от ограниченного круга поставщиков из одной страны.